蒸鍍艙壓力/溫度趨勢圖 (Deposition Chamber Monitoring)
像素點亮測試良率圖 (Pixel Lighting Yield)
色座標分佈散佈圖 (CIE Coordinates Dist.)
製程拓撲視窗 (Process Topology)
LOAD LOCK
UNLOAD
EVAPORATION
TFE ENCAP
AOI TEST
- OHT 傳輸系統：正常
- 真空傳送腔：運行中
- FMM 自動對位：就緒
品質檢測看板 (AOI Stats)
缺陷分類：微塵 (Particle)
12 ppm
缺陷分類：短路 (Short)
5 ppm
雷射修補 (Laser Repair) 成功率
99.2%